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HCMS+CA系列

膜層致密性好

Good film density
真空應(yīng)用解決方案提供商
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Magnetron sputtering vacuum coating equipment 磁控濺射鍍膜設(shè)備

      中頻磁控濺射技術(shù)已漸成為磁控濺射鍍膜的主流技術(shù),它優(yōu)于直流磁控濺射鍍膜的特點(diǎn)是克服了陽(yáng)極消失現(xiàn)象;減弱或消除靶的異常弧光放電。因此,提高了濺射過(guò)程的工藝穩(wěn)定性,同時(shí),提高了介質(zhì)膜的沉積速率數(shù)倍。

      在中頻磁控濺射技術(shù)的基礎(chǔ)上,新加入的hipims高功率直流脈沖技術(shù),相比原有的中頻磁控濺射,等離子體的繞射性更好、膜層致密度更高、沉積速率大幅提升、工藝可控精細(xì)度提高、可鍍涂層種類和顏色增加,在產(chǎn)品上表現(xiàn)為耐腐蝕性增強(qiáng)、膜層硬度增大彈性模量降低、涂層表面摩擦系數(shù)更低、涂層顏色光亮度提高。

開(kāi)發(fā)了平面靶,圓柱靶,孿生靶,對(duì)靶等多種形式的中頻濺射靶結(jié)構(gòu)和布局。該類設(shè)備廣泛應(yīng)用于表殼、表帶、手機(jī)殼、高爾夫球具、五金、餐具等鍍TiN、TiC、TICN、TiAIN、CrN等各種多元合金化合物裝飾鍍層。

      該設(shè)備提供各種金屬顏色的涂層,如鋼、鎳、金、青銅以及無(wú)煙煤和黑色。涂層的顏色是由其成分決定的,由鋯、鈦、氮、碳、氧等金屬組成。我們的工藝工程團(tuán)隊(duì)可以根據(jù)您的要求對(duì)顏色進(jìn)行微調(diào),使您有可能在您的市場(chǎng)中獨(dú)樹(shù)一幟。


優(yōu)勢(shì):

?高生產(chǎn)率
?沉積各種金屬和合金以獲得有色和/或半透明的表面
?由于濺射不同材料的靶材而在生產(chǎn)階段具有靈活性

Product Advantage.

產(chǎn)品特點(diǎn)
HCMS+CA系列磁控濺射鍍膜設(shè)備包括以下關(guān)鍵功能:
  • 高效

    沉積速度快、基材溫升低、膜層損傷小

  • 結(jié)構(gòu)緊湊

    占地面積小,易于集成到工廠

  • 精準(zhǔn)

    精確控制鍍層的厚度

  • 優(yōu)質(zhì)

    薄膜純度高、致密性好、成膜均勻性好

  • 多樣化

    不同金屬、合金、氧化物混合濺射

  • 監(jiān)控

    本地或遠(yuǎn)程監(jiān)控鍍膜過(guò)程

型號(hào) HCMS-1212
真空室尺寸 Ф1200×H1200mm
制膜種類 多功能金屬膜、復(fù)合膜、透明導(dǎo)電膜、增返射膜、電磁屏蔽膜、裝飾膜等
電源類型 直流磁控電源、中頻磁控電源電源、高壓離子轟擊電源
靶類型 直流磁控靶、中頻孿生靶、平面靶、圓柱靶
真空室結(jié)構(gòu) 立式雙開(kāi)門、立式單開(kāi)門
真空系統(tǒng) 機(jī)械泵+羅茨泵+擴(kuò)散泵+維持泵(或選配:分子泵、深冷系統(tǒng))
充氣系統(tǒng) 質(zhì)量流量控制儀(1-4路)
極限真空 6×10-4pa(空載、凈室)
抽氣時(shí)間 空載大氣抽至5×10-3pa小于13分鐘
工件旋轉(zhuǎn)方式 6軸/8軸/9軸公自轉(zhuǎn)/變頻無(wú)級(jí)調(diào)速
控制方式 手動(dòng)+半自動(dòng)+全自動(dòng)一體化/觸摸屏+PLC
備注 真空室尺寸可按客戶產(chǎn)品及特殊工藝要求訂做
型號(hào) HCMS-1612
真空室尺寸 Ф1600×H1200mm
制膜種類 多功能金屬膜、復(fù)合膜、透明導(dǎo)電膜、增返射膜、電磁屏蔽膜、裝飾膜等
電源類型 直流磁控電源、中頻磁控電源電源、高壓離子轟擊電源
靶類型 直流磁控靶、中頻孿生靶、平面靶、圓柱靶
真空室結(jié)構(gòu) 立式雙開(kāi)門、立式單開(kāi)門
真空系統(tǒng) 機(jī)械泵+羅茨泵+擴(kuò)散泵+維持泵(或選配:分子泵、深冷系統(tǒng))
充氣系統(tǒng) 質(zhì)量流量控制儀(1-4路)
極限真空 6×10-4pa(空載、凈室)
抽氣時(shí)間 空載大氣抽至5×10-3pa小于13分鐘
工件旋轉(zhuǎn)方式 6軸/8軸/9軸公自轉(zhuǎn)/變頻無(wú)級(jí)調(diào)速
控制方式 手動(dòng)+半自動(dòng)+全自動(dòng)一體化/觸摸屏+PLC
備注 真空室尺寸可按客戶產(chǎn)品及特殊工藝要求訂做
型號(hào) HCMS-1912
真空室尺寸 Ф1900×H1200mm
制膜種類 多功能金屬膜、復(fù)合膜、透明導(dǎo)電膜、增返射膜、電磁屏蔽膜、裝飾膜等
電源類型 直流磁控電源、中頻磁控電源電源、高壓離子轟擊電源
靶類型 直流磁控靶、中頻孿生靶、平面靶、圓柱靶
真空室結(jié)構(gòu) 立式雙開(kāi)門、立式單開(kāi)門
真空系統(tǒng) 機(jī)械泵+羅茨泵+擴(kuò)散泵+維持泵(或選配:分子泵、深冷系統(tǒng))
充氣系統(tǒng) 質(zhì)量流量控制儀(1-4路)
極限真空 6×10-4pa(空載、凈室)
抽氣時(shí)間 空載大氣抽至5×10-3pa小于13分鐘
工件旋轉(zhuǎn)方式 6軸/8軸/9軸公自轉(zhuǎn)/變頻無(wú)級(jí)調(diào)速
控制方式 手動(dòng)+半自動(dòng)+全自動(dòng)一體化/觸摸屏+PLC
備注 真空室尺寸可按客戶產(chǎn)品及特殊工藝要求訂做
型號(hào) HCMS-2121
真空室尺寸 Ф2100×H2100mm
制膜種類 多功能金屬膜、復(fù)合膜、透明導(dǎo)電膜、增返射膜、電磁屏蔽膜、裝飾膜等
電源類型 直流磁控電源、中頻磁控電源電源、高壓離子轟擊電源
靶類型 直流磁控靶、中頻孿生靶、平面靶、圓柱靶
真空室結(jié)構(gòu) 立式雙開(kāi)門、立式單開(kāi)門
真空系統(tǒng) 機(jī)械泵+羅茨泵+擴(kuò)散泵+維持泵(或選配:分子泵、深冷系統(tǒng))
充氣系統(tǒng) 質(zhì)量流量控制儀(1-4路)
極限真空 6×10-4pa(空載、凈室)
抽氣時(shí)間 空載大氣抽至5×10-3pa小于13分鐘
工件旋轉(zhuǎn)方式 6軸/8軸/9軸公自轉(zhuǎn)/變頻無(wú)級(jí)調(diào)速
控制方式 手動(dòng)+半自動(dòng)+全自動(dòng)一體化/觸摸屏+PLC
備注 真空室尺寸可按客戶產(chǎn)品及特殊工藝要求訂做

Application cases.

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