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HCSO系列

精密磁控濺射

光學(xué)鍍膜機(jī)

Multicavity magnetron sputtering optical coating machine
真空應(yīng)用解決方案提供商
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High precision MAGNETRON SPUTTERING OPTICAL COATING MACHINE 精密磁控濺射光學(xué)鍍膜機(jī)

      濺射沉積系統(tǒng)在側(cè)壁上裝有多個(gè)圓柱形靶材,以提高沉積速率和多層涂層,該系統(tǒng)配備有直流脈沖或射頻功率圓形陰極,垂直安裝的基板和圓柱形陰極可最大程度地減少涂層過(guò)程中的顆粒污染,通過(guò)多個(gè)腔體的靈活組合,大大提高生產(chǎn)效率和膜層性能。

      旋轉(zhuǎn)陰極裝置與行內(nèi)普通平面靶裝置相比靶材使用周期與利用效率顯著提高;可客制化的基板工件架結(jié)構(gòu)定制,給客戶產(chǎn)品擺放達(dá)到最大的利用空間;全自動(dòng)一體的提拉升降的轉(zhuǎn)架裝置,大幅度減少機(jī)器開(kāi)關(guān)門時(shí)間,大大提高了生產(chǎn)效率與工藝穩(wěn)定性;匯成專利離子源具有工作范圍廣能量均衡,高離化率,超穩(wěn)定工作效率,低耗能等特點(diǎn)。

      可利用時(shí)間精準(zhǔn)控制薄膜厚度,達(dá)到設(shè)計(jì)工藝要求,節(jié)省晶控,光控環(huán)節(jié),為客戶省去大量的膜厚儀耗材;可生產(chǎn)高折射率氮化薄膜,提高薄膜硬度性能;低溫成膜,可應(yīng)對(duì)各種用途;自動(dòng)調(diào)節(jié)氣體流量專利裝置,保持穩(wěn)定的靶電壓,保證成膜品質(zhì);可選“校正板外部調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)”。

AR 膜(基材玻璃透過(guò)率>91.5%):
■  420-680nm波段,單面平均透過(guò)率>95%,反射率小于0.5(平均值)% ;
■  雙面平均透過(guò)率>98%,反射率小于0.5(平均值)%;

顏色膜或漸變色膜:
■  以客戶樣板為準(zhǔn),連續(xù)五爐隨機(jī)位置裝片或滿爐,顏色色差ΔE<1.2;
■  水煮測(cè)試:水煮 80℃30min,3M 百格測(cè)試(1*1mm)后大于 4B。


優(yōu)勢(shì):

?出色的均勻性
?可實(shí)現(xiàn)不同的材料或提高產(chǎn)量
?集成式等離子體源,可提高涂層質(zhì)量并進(jìn)行基板預(yù)清潔
?快速更換不同尺寸基板的工具
?高目標(biāo)利用率,不影響涂層規(guī)格
?簡(jiǎn)單的目標(biāo)交換和易于訪問(wèn)的系統(tǒng)維護(hù)

Product Advantage.

產(chǎn)品特點(diǎn)
HCSO系列精密磁控濺射光學(xué)鍍膜機(jī)包括以下關(guān)鍵功能:
  • 有效

    基于PC的有效自動(dòng)系統(tǒng)控制,用于涂層過(guò)程

  • 優(yōu)異

    優(yōu)異的均勻性和最高的生產(chǎn)良率

  • 精準(zhǔn)

    精確監(jiān)控膜厚

  • 高效

    出色的濺鍍技術(shù)和很強(qiáng)的量產(chǎn)能力

  • 專利

    匯成自主研發(fā)離子源

  • 簡(jiǎn)單

    易于操作和維護(hù)

規(guī)格
型號(hào) HCSO-1350T
鍍膜區(qū)域 Φ1350x H700mm
基材尺寸 4"/100mm 6"/150mm 8"/200mm 10"/250mm 12"/300mm 110x180mm 136x180mm 136x270mm
裝載量 160 66 32 24 10 90 72 48
結(jié)構(gòu) 雙腔室
性能
轉(zhuǎn)速 10~100RPM(可變)
進(jìn)出料室抽速 大氣壓至10Pa≤5min
工藝室抽速 3.0×10-3Pa≤30min
極限真空度 8.0×10-5Pa (成膜室)
濺射靶材 Nb,Si,Cr,Al,Ti,In,Nb2O5 ...
主要配置
夾具系統(tǒng) 底部中心旋轉(zhuǎn)公轉(zhuǎn)夾具桶
排氣系統(tǒng) 低真空泵組 + 高真空泵組 + 低溫泵
真空控制系統(tǒng) 真空控制器、潘寧及皮拉尼真空計(jì)
鍍膜系統(tǒng) DC或MF磁控濺射源+ 等離子體源 + 阻抗式蒸發(fā)源 / 線性蒸發(fā)源
充氣系統(tǒng) MFC或APC自動(dòng)壓強(qiáng)控制儀
控制系統(tǒng) PC+PLC
應(yīng)用
光學(xué)薄膜應(yīng)用 UV/IR截止濾光片、帶通濾光片、RGB濾光片、AR、硬質(zhì)AR膜、硬質(zhì)膜、HR膜、AS/AF等
適用波長(zhǎng) 300nm~1100nm
注:可客制化(數(shù)據(jù)僅供參考)
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電話:13316689188

郵箱:office@m.lhc666.cn

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