任何固體材料在大氣環境下都會溶解和吸附一些氣體，當材料置于真空狀態時就會因為脫附、解析而出氣。出氣的速率與材料中的氣體含量成正比。不同的材料解析的氣體成分及解析的溫度及時間是不同的。因此很多真空鍍膜機里面配置加熱配置，就是為了增加膜層的附著力。
真空鍍膜機會配置各種泵，泵對不同成分的氣體抽氣速率也是不一樣的。抽真空時,首先抽走的是容器中的大氣(這部份氣體很快被抽走,10-1Pa時爐內氣體基本抽盡),然后是材料表面解吸的氣體、材料內部向表面擴散出來的氣體,以及通過器壁滲透到真空中的氣體.因此在貨品進入爐內之后，都要進行保溫除氣，因為貨品在進爐前會吸附一些雜質氣體，我們要通過適當的加熱，讓這些氣體解析脫附貨品的表面。這樣沉積的膜層純度更純，膜層致密性更好，膜層的附著力也就更好
